半导体器件测试探针台

技术参数：

1、温度范围：10K-350K；

2、控温精度：100mK；

3、漏电流<100fA;

4、显微镜分辨率：优于4μm；

5、真空指标：<5*E-5 Torr；

6、最大样品尺寸：1.25英寸。

功能介绍：

1、系统配了5根电学测试探针臂，供操作者在低温测试的环境下获取测试器件的电学IV、CV性能，一根光学探测探针臂，同时可测量器件的光电性能；

2、该设备与半导体参数仪联用，可对制得器件的电学性质进行表征和测试分析。