匀胶机

技术参数：

1、旋涂尺寸：≤直径为8英寸晶圆，向下兼容小碎片；

2、最高转速：10000rpm（空载）；

3、最高加速度50000rpm/s；

4、转速精度：±1rpm；

5、转速分辨率：0.1rpm；

6、匀胶片内均匀性：± 3%。

功能介绍：

旋涂光刻胶、增粘剂等涂布材料形成均匀薄膜，转速100~8000RPM。