X射线光电子能谱仪XPS

技术参数：

1、能量范围：-10~5000eV（XPS）/-10~100eV（UPS）；

2、能量分辨率：0.45eV/@160kcps(Ag 3d5/2）；

3、最小分析区域（收谱） φ200μm 、最大分析区域 φ900μm；

4、空间分辨率 (快速平行成像 )：3.0μm。

功能介绍：

1、常规XPS测试：测试材料表面几个原子层（1-10nm厚的表面）的化学组成、价态；可测试Li及Li以上元素；

2、深度剖析：用离子束刻蚀表面层或者表面污染层，从而获取亚表层信息；

3、XPS成像，对材料进行微米级成像分析；

4、UPS（紫外光电子能谱），测试样品功函数、价带谱、HOMO，Ef cut-off等信息；

5、角分辨测试，研究超薄样品化学成分的纵向分布；

6、变温测试（变温范围）：-40~800℃ 研究样品不同温度下的化学信息；

7、ISS（离子散射谱分析）：可测量出散射离子的动能；

8、REELS（反射电子能量损失谱）：探测表面材料电子结构信息，可应用于高分子聚合物、陶瓷、玻璃、薄膜、钢铁、金属、生物材料、半导体、微电子、薄膜、纳米技术等领域。