超快激光三维微纳刻蚀系统

技术参数：

1、激光器 ① 波长：1030nm；

2、 平均功率：≤10 W@1H；

3、 重复频率：1 Hz–1 MHz可调；

4、脉冲190fs，不可改动；

5、 自动谐振发生器，输出波长：1H:1030nm，2H：515nm，3H：257nm；输入脉冲能量：20-1000μJ；脉冲持续时间：190-300fs；转换效率：>50%（2H），>25%（3H）；

6、位移台  三维移动范围：XYZ 180 mm ×100 mm × 60 mm

7、精度：XY accuracy ± 0.4 μm， Z accuracy ± 0.275 μm，XYZ轴分辨率：1nm；

8、 XY轴最大速度：>200mm/s， 最大加速度：1G， 重复定位精度：±0.15μm。

功能介绍：

该仪器设备将主要应用于蓝宝石基高反射率大带宽Bragg体光栅制备；基于多光子聚合技术实现微米级蓝宝石布拉格体光栅高精度、高自由度加工；超精细微纳米结构的表面加工等。