精密砂轮划片机

技术参数：

1、最大适用于8英寸及以下晶圆；

2、切割晶圆厚度范围≤3mm；

3、主轴转速范围10000~50000rpm；

4、X轴：工作行程380mm，X轴速度设定范围0.1~500mm/s；

5、Y轴：有限切割行程210mm，Y轴单步定位精度≤3μm/5mm；

6、Z轴：主轴上下行程Max30mm，重复定位精度1μm；

7、θ轴：正反转范围380°，转角分辨率0.0002°。

功能介绍：

该设备用于硅片、蓝玻璃、石英、玻璃、陶瓷及太阳能电池片等材料的切割加工。