甩干机
仪器型号"陕西博纳 BNSL-2-IV"
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服务周期收到样品后5个工作日内完成
详细描述
技术参数
1、工作腔数量：2个；
2、适用规格：上腔室为6寸晶圆片，下腔室为4寸晶圆片；
3、工作转速：400-2000rpm;
4、氮气压力：0.2-0.3Mpa；
5、氮气耗量：100-140L/min；
6、去离子水压力：0.2-0.4Mpa;
7、去离子水耗量：5-10L/min;
8、配置电阻率测试仪；
9、配置静电消除装置。
功能介绍
主要用于对硅片、蓝宝石片、氮化镓、砷化镓等半导体晶圆进行全自动高速清洗、离心脱水、氮气吹扫烘干、除静电等。
