飞行时间二次离子质谱仪TOF-SIMS

技术参数:

1、横向空间分辨率一般为100-200nm，需采用高分辨成像模式，此时质量分辨率较差；

2、纵向空间分辨率<1nm；

3、质量分辨率（m / ∆m）一般可达到6000以上；

4、质量范围：1 - 12000 amu。

功能介绍:

1、可进行空气敏感样品手套箱转移仓；原位升降温测试（-150-600℃）；原位施加电压测试（如离子迁移观测）;

2、可用于对于材料与器件组分分析、二维及三维分布分析。