全自动超临界干燥仪

技术参数

1、温度控制范围：-30℃至60℃，精度±1℃；

2、仪器具有超压自动泄压系统，确保压力可控；

3、内置多种材料干燥流程可选，支持自定义个性化处理方案；

4、仪器正常工作压力为0-10MPa；

5、完备的过滤系统，外置和内置0.5μm过滤器保护样品与微调阀门；高压微调阀+截止阀组合，更好更细致的控制流量精度。

功能介绍

1、无损干燥和清洗，可用于MOF、凝胶、生物样品、晶圆片等多种样品的干燥和清洗；

2、可用于光刻结构显影后干燥，改善结构倒塌现象；

3、带视窗的高压样品腔，体积30、100、150、300、500ml可选；

4、全自动流程/手动流程可选；

5、最大支持8寸晶圆。