热蒸发薄膜沉积系统

技术参数：

1、可蒸镀Ag、Al、Cr、Cu、Au、Ni等材料并兼容蒸镀有机材料；

2、兼容8英寸方片（203.2mm×203.2mm）及兼容8英寸以下碎片；

3、8个蒸发舟；

4、输出电流控制精度0.1A；

5、极限真空度≤1.5E-5Pa，蒸镀过程中，真空度上升≤1E-3Pa；

6、薄膜沉积均匀性≤±5%（8英寸基片范围，膜厚100nm）；

7、膜厚重复性≤±5%；

8、可旋转、转速0~60rpm可调；

9、基片温度均匀性≤±5%。

功能介绍：

可蒸镀Ag、Al、Cr、Cu、Au、Ni等材料并兼容蒸镀有机材料，用于Life-off工艺。