微纳加工

聚焦离子束成像与加工系统FIB

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大型电子束曝光系统EBL

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电子束曝光系统EBL

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大型激光直写光刻机DLW

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激光直写光刻机DLW

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晶圆级对准光刻机

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紫外纳米压印机NIL

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双光子微纳3D打印系统TPP

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超快激光三维微纳刻蚀系统

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电感耦合等离子刻蚀机ICP

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电感耦合等离子体增强型化学气相沉积系统PECVD

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化学气相沉积炉CVD

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